7XB-PC大平臺集成電路檢測金相顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積集成電路,晶片的質(zhì)量檢測而設(shè)計開發(fā)制造的,配有大移動范圍的載物臺、圖像清晰,襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)顯微鏡使用。
性能特點:
超大型載物臺,樣品可以大范圍的快慢速移動,擴(kuò)大檢測領(lǐng)域的使用范圍;
技術(shù)參數(shù):
1、目鏡筒:三目鏡
2、目鏡:10X(18);
3、金相物鏡:
a、放大倍數(shù):4X、10X、20X、40X;
b、數(shù)值孔徑(N.A):0.10、0.25、0.40、0.65;
c、有效工作距離(mm):17.912、6.544、1.05、0.736;
4、介 質(zhì):干;
5、物鏡轉(zhuǎn)換器:四孔式;
6、總放大倍率:40X-400X;
7、載物臺面積:350mm*255mm,移動范圍200*200mm;
8、粗微動調(diào)焦范圍25mm,微調(diào)轉(zhuǎn)動一圈樣品升降0.2mm,格值2um;
9、光源:鹵素?zé)?V20W,內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī):1臺;
2、觀察鏡筒:1只;
3、10目鏡:1對;
4、物鏡:4、10、20、40X各一只;
5、鹵素?zé)襞荩?只;
6、攝像頭:1只;
7、0.5X適配鏡:1只;
8、合格證、保修卡、說明書:1套;
選購件:
長距物鏡:50、80、100X;
200、300、500、900、1200萬數(shù)碼攝像頭;
數(shù)碼適配鏡、數(shù)碼相機(jī);
研究級圖像數(shù)據(jù)分析軟件;
電腦;
目鏡:12.5X、10X分劃;
金相顯微鏡概述、使用方法及注意事項:
1、概述:金相顯微鏡是進(jìn)行金屬顯微分析的主要工具。將專門制備的金屬試樣放在金相顯微鏡下進(jìn)行放大和觀察,可以研究金屬組織與其成分和性能之間的關(guān)系;確定各種金屬經(jīng)不同加工及熱處理后的顯微組織;鑒別金屬材料質(zhì)量的優(yōu)劣,如各種非金屬夾雜物在組織中的數(shù)量及分布情況,以及金屬晶粒度大小等。因此,利用金相顯微鏡來觀察金屬的內(nèi)部組織與缺陷是金屬材料研究中的一種基本實驗技術(shù)。簡單地講,金相顯微鏡是利用光線的反射將不透明物件放大后進(jìn)行觀察的。
2、使用方法:金相顯微鏡是一種精密光學(xué)儀器,在使用時要求細(xì)心和謹(jǐn)慎,嚴(yán)格按照使用規(guī)程進(jìn)行操作。
① 將顯微鏡的光源插頭接在低壓(6V~8V)變壓器上,接通電源。
② 根據(jù)放大倍數(shù),選用所需的物鏡和目鏡,分別安裝在物鏡座上和目鏡筒內(nèi),旋動物鏡轉(zhuǎn)換器,使物鏡進(jìn)入光路并定位(可感覺到定位器定位)。
③ 將試樣放在樣品臺上中心,使觀察面朝下并用彈簧片壓住。
④ 轉(zhuǎn)動粗調(diào)手輪先使鏡筒上升,同時用眼觀察,使物鏡盡可能接近試樣表面(但不得與之相碰),然后反向轉(zhuǎn)動粗調(diào)手輪,使鏡筒漸漸下降以調(diào)節(jié)焦距,當(dāng)視場亮度增強(qiáng)時,再改用微調(diào)手輪調(diào)節(jié),直到物象清晰為止。
⑤ 適當(dāng)調(diào)節(jié)孔徑光欄和視場光欄,以獲得正確質(zhì)量的物象。
⑥ 如果使用油浸系物鏡,可在物鏡的前透鏡上滴一些松柏油,也可以將松柏油直接滴在試樣上,油鏡頭用后,應(yīng)立即用棉花沾取二甲苯溶液擦凈,再用擦鏡紙擦干。
3、注意事項:
① 操作應(yīng)細(xì)心,不能有粗暴和劇烈動作,嚴(yán)禁自行拆卸顯微鏡部件。
② 顯微鏡的鏡頭和試樣表面不能用手直接觸摸,若鏡頭中落入灰塵,可用鏡頭紙或軟毛刷輕輕擦試。
③ 顯微鏡的照明燈泡必須接在6~8V變壓器上,切勿直接插入220V電源,以免燒毀燈泡。
④ 旋轉(zhuǎn)粗調(diào)和微調(diào)手輪時,動作要慢,碰到故障應(yīng)立即報告, 不能強(qiáng)行用力轉(zhuǎn)動,以免損壞機(jī)件。
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